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蘇州愛拓利電子設備有限公司
MFM330
氣體質量流量計
咨詢熱線：

0512-85162266

Product Overview
產品概況

MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

MFM330工作原理
產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

Technical Parameters
技術參數
主要參數
  • 介質要求
    潔凈干燥氣體
  • 氣體種類
    98+氣體可選
  • 量程
    10，20，50，100，300，500 sccm
    0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
  • 測量范圍
    0.5%-100% F.S.
  • 準確度
    ±0.5% F.S.
  • 重復精度
    ±0.2%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
  • 傳感器響應時間
    <1s
  • 預熱時間
    5 min（T95），30 分鐘最佳
機械特性
電氣和通訊
特征
尺寸
滿量程 高 寬 深度 A B C D E 重量
2 sccm~50 slpm 125.00 mm 76.00 mm 32.00 mm 64.00 mm 17.80 mm 7.00 mm 6.00 mm M4 ↓ 5 mm ≈0.82 kg
4.921 in 2.992 in 1.260 in 2.520 in 0.701 in 0.276 in 0.236 in M4 ↓ 0.197 in ≈2.1 lb
100 slpm~500 slpm 138 mm 82 mm 38 mm 62 mm 30 mm 10 mm 10 mm M4 ↓ 8 mm ≈1 kg
5.43 in 3.22 in 1.496 in 2.440 in 1.181 in 0.157 in 0.393 in M4 ↓ 0.31 in ≈2.21 lb
產品選型
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