0512-85162266
MFC320 系列為全新升級的MEMS氣體質量流量計/控制器。
精度:0.5 % F.S.
控制范圍:1%~100% F.S.
工作壓差范圍:0-1 MPa
10ms測量響應,300ms控制響應
抗腐蝕型可選
量程:1 sccm-200slm
通訊方式:模擬量,RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat