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蘇州愛拓利電子設備有限公司
600系列流量計
氣體質量流量控制器
咨詢熱線：

0512-85162266

Product Overview
產品概況

MFC600 系列層流差壓式氣體質量流量計/控制器，其結構包含層流差壓式流量傳感器、高精度 比例閥和控制系統，內置壓力和溫度補償系統，獨創核心算法，動態調控高精度比例閥以自動控制 氣體流量，提:供更加精準和穩定的氣體流量測量和控制。

600系列工作原理
產品特點

精度：0.2% F.S.

控制范圍：1%~100% F.S.

5ms測量響應，100ms控制響應

130+種氣體靈活切換, 配氣

同時測量標況流量和工況流量

量程范圍：1 sccm-200 slm

通訊方式：模擬量，RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat

Technical Parameters
技術參數
主要參數
  • 介質要求
    潔凈干燥氣體
  • 氣體種類
    130+ Available for 130+types of gas
  • 量程
    0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm
    0-1, 2, 3, 4, 200 slpm
  • 控制范圍
    1%F.S-100%F.S.（1:100）
  • 準確度
    0.2% F.S
  • 重復精度
    0.05% F.S
  • 線性度
    0.1%F.S
  • 控制響應時間
    100ms
  • 預熱時間
    0s
  • 閥門
    常閉
  • 泄漏率
    1*10-10 Pa*m3/s He (氟橡膠密封)
    1*10-11 Pa*m3/s He（全金屬密封）
  • 分辨率
    0.001sccm
機械特性
電氣和通訊
特征
尺寸

Full scale flow

Height

Width

Depth

A

B

C

D

E

重量

MFC600

145.8mm

75.00mm

33.80mm

81.00mm

20.00mm

6.90mm

3.00mm

2 x M4? 8mm

1.4kg

5.745in

2.955in

1.33in

3.19in

0.788in

0.272in

0.118in

2 x M4?0.315in

3.09 lb

MFM600

146.30mm

71.00mm

28.60mm

77.00mm

15.00mm

6.80mm

3.00mm

2 x M4? 8mm

1.0kg

5.764in

2.80in

1.127in

3.034in

0.591in

0.268in

0.118in

2 x M4?0.315in

2.21 Ib

產品選型
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