MFC600 系列層流差壓式氣體質量流量計/控制器，其結構包含層流差壓式流量傳感器、高精度 比例閥和控制系統，內置壓力和溫度補償系統，獨創核心算法，動態調控高精度比例閥以自動控制 氣體流量，提:供更加精準和穩定的氣體流量測量和控制。
精度：0.2% F.S.
控制范圍：1%~100% F.S.
5ms測量響應，100ms控制響應
130+種氣體靈活切換, 配氣
同時測量標況流量和工況流量
量程范圍：1 sccm-200 slm
通訊方式：模擬量，RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat
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Full scale flow |
Height |
Width |
Depth |
A |
B |
C |
D |
E |
重量 |
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MFC600 |
145.8mm |
75.00mm |
33.80mm |
81.00mm |
20.00mm |
6.90mm |
3.00mm |
2 x M4? 8mm |
1.4kg |
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5.745in |
2.955in |
1.33in |
3.19in |
0.788in |
0.272in |
0.118in |
2 x M4?0.315in |
3.09 lb |
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MFM600 |
146.30mm |
71.00mm |
28.60mm |
77.00mm |
15.00mm |
6.80mm |
3.00mm |
2 x M4? 8mm |
1.0kg |
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5.764in |
2.80in |
1.127in |
3.034in |
0.591in |
0.268in |
0.118in |
2 x M4?0.315in |
2.21 Ib |
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